Ka­tho­den­zer­stäu­bung, fachsprachlich auch Ka­to­den­zer­stäu­bung, die

Worttrennung

Ka|tho|den|zer|stäu|bung, Ka|to|den|zer|stäu|bung

Bildung feinster Metallschichten auf der Anode durch Zerstäuben des Kathodenmaterials im Hochvakuum

die Kathodenzerstäubung; Genitiv: der Kathodenzerstäubung, Plural: die Kathodenzerstäubungen